8英寸MEMS晶圆生产线之低温TEOS国际招标澄清或变更公告(2)
发布时间:2026-02-05 00:14:34

  澄清或变更简要说明:投标文件递交的地点由“安徽省蚌埠市经济开发区东海大道888号中国传感谷A区L型综合配套楼5层”变更为“安徽省蚌埠市龙子湖区学府路88号智慧锦城商业街4-1,蚌埠南站万达悦华酒店二楼会议室”。

  苏美达国际技术贸易有限公司受招标人委托对下列产品及服务进行国际公开竞争性招标,于2025-02-13在中国国际招标网发布变更公告。本次招标采用传统招标方式,现邀请合格投标人参加投标。

  设备原理及用途:PECVD是腔室在低压高温条件下,通入反应气体,形成等离子体,进行化学反应,在硅片表面淀积薄膜。PECVD主要用于产品中二氧化硅、氮化硅的制备。低温TEOS(170℃)机台主要用于麦克风产品的牺牲层,低温主要是为了平衡麦克风产品正反面腐蚀的速度以及防止金属层发生变化(Cr/Au扩散)。

  晶圆尺寸:8英寸双面抛光,notch,厚度:300μm~800 μm。其他参数详见第八章

  投标人应具备的资格或业绩:①投标人如为境内企业,提供企业法人营业执照或事业单位法人证书,如为境外企业提供企业注册登记证。

  ②投标人可以是设备制造厂家,也可以是设备授权代理商,代理商需有设备原厂家的有效授权书。

  ③投标人开户行开具的,出具日期在开标前三个月内的资信证明原件或该原件的复印件。

  ④投标人需要具有履行合同所必需的设备技术支持和服务能力(提供相关证明材料或承诺书,承诺书格式自拟)。

  其他说明:每天9:00—11:30,14:00—17:30(北京时间,节假日除外)不购买招标文件的不得参加投标。联系人邮箱:

  投标文件送达地点:安徽省蚌埠市龙子湖区学府路88号智慧锦城商业街4-1,蚌埠南站万达悦华酒店二楼会议室

  开标地点:安徽省蚌埠市龙子湖区学府路88号智慧锦城商业街4-1,蚌埠南站万达悦华酒店二楼会议室